Synthesis and fabrication technique of SiC/SiC thermo elements

石山 新太郎; 深谷 清; 衛藤 基邦

Key Engineering Materials, 159-160, p.423 - 428, 1999/00

高温ガス炉の高温熱エネルギーを高効率で直接電気変換できる高温用熱電素子の開発を進めている。特に、1000C以上の高温エネルギーの直接発電には耐熱/耐食性の優れたセラミックス製熱電素子材料が有効である。本研究では、伝導性SiCやB4Cセラミックスに注目し、これらのP型及びN型の低抵抗/高性能熱電素子の開発を進め、B4C/SiC及びSiC/SiC型のP/N熱電素子の製作に成功した。本論では、これらの新型素子の製造方法ならびにその性能について概説する。本研究で得た成果は主に、(1)SiCのB4CならびにSiをドープすることによって低抵抗のP型及びN型の半導体の製作に成功した。(2)これらの半導体のP/N接合法を開発した。(3)これらのP/N熱電素子は高い電気変換性能を有する。